真空成膜装置の機械設計

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液晶用スパッタ装置、有機EL成膜装置の機械設計を行っています。
真空に関する機械設計であれば、上記装置に限らず知識は有していますのでお気軽にお問い合わせをお願い致します。

その他の実績

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